METHOD OF DIFFUSION OF IMPURITY FOR DEFINITION OF VAKANSIONNY STRUCTURE IN MONOCRYSTALS SIN GaAs
Abstract
In this work diffusive profiles of elements 6 of group of periodic table of Mendeleyev in monocrystals of semi-isolating not alloyed GaAs were investigated. The mechanism of formation and distribution of alloying impurity is considered and formation of vacancy structure of monocrystals at heat treatment taking into account a structure deviation from stoichometry and dislocation structure is analysed. Possibilities of management are shown by structural and electrophysical parameters of monocrystals of GaAs.
References
Chen N. F. Stoichiometric defects in semi-insulating GaAs / N. F. Chen, H. He, Y. Wang, L. Lin // J. Crystal Growth.– 1997. – V. 173. – P. 325-329.
Бублик В. Т. Изучение влияния различных режимов термического отжига на образование микродефектов в монокристаллах нелегированного GaAs, выращенного по методу Чохральского / В. Т. Бублик, М. И. Воронова, А. В. Марков, К. Д. Щербачёв // Кристаллография. – 2000. – Т. 45, № 5. – С. 893-898.
Сорокин И. Н. Зарубежная электронная техника / И. Н. Сорокин, В. З. Петрова, Ю. Д. Чистяков. – 1979. – № 14. – 64 с.
Шишияну Ф. С. Диффузия и деградация в полупроводниковых материалах и приборах / Ф. С. Шишияну. – Кишинёв : Штиинца, 1978. – 230 c.
Коваленко В. Ф. Определение вакансионного состава монокристаллов полуизолирующего нелегированного арсенида галлия / В. Ф. Коваленко, М. Б. Литвинова, В. А. Краснов // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. – 2002. – Вып. 37. – С. 198-204.
Крапухин В. В. Физико-технические технологии полупроводниковых материалов / В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов. – М. : Металлургия, 1982. –352 с.
Болтакс Б. И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках / Б. И. Болтакс. – Л. : Наука, 1972. – 451 с.
Соколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии / И. А. Соколов. – М. : Металлургия, 1994. – 176 с.
Коттрел А. Х. Теория дислокаций / А. Х. Коттрел ; пер. с англ. – М. : Мир, 1969. – 67 с.